1、儀表索引表

本表按各種被檢測工藝參量如溫度、壓力、流量等順序填寫儀表回路。填寫內容包括序號、回路號、儀表位號、用途、儀表名稱、管道設備號、流程圖號、規格書號、信號類型、I/O類型、備注等。

2、儀表規格書（儀表數據表）

儀表規格書（儀表數據表）包含項目中所有儀表設備的工藝參數及儀表技術參數，是廠方、用戶訂貨和施工單位領取設備的依據，此表的填寫要正確嚴格，技術規格要詳細，工藝數據要齊全。一體化溫度變送器規格書見表1。

3、材料表

是廠方、用戶訂貨和施工單位領料的依據，按照管材、型材、電線電纜、橋架、閥門、電氣連接件、管件、緊固件等類別統計材料。

4、儀表電纜連接表

包括主、支電纜的編號、型號、規格、長度、端子號等，補償電纜與控制電纜分開填寫。

5、報警和聯鎖數據表

提供項目中報警和聯鎖工藝參數值，包括儀表位號、報警單位、高（H）、低（L）、高高（HH）、低低（LL）數值。

6、DCS監控數據表

用于DCS的組態和工藝過程監視，包括DCS監控的儀表位號、控制設定值、報警聯鎖設定值、輸入輸出方式、供電方式等。

7、儀表位置圖

在工藝設備圖上標注出設備位號，用規定符號畫出儀表的位置及標高。

8、儀表安裝圖

包括儀表在設備或管道上安裝的連接圖、儀表電纜連接圖、安裝方案涉及的管閥件規格、數量。

9、安全儀表系統聯鎖邏輯圖

包括輸入與輸出信號的來源去向、位號、用途、執行元件的聯鎖動作，應用邏輯符號表示輸入與輸出間的邏輯關系。